Europäische Technik für die besten Chips: Zukunftspreis geht an drei deutsche Weltmeister

Was kaum ein Außenstehender für möglich gehalten hätte ist eingetreten. Europa hat bei der Halbleiterherstellung die Nase vorn. Amerikanische Giganten wie Intel, japanische, südkoreanische und chinesische Unternehmen sind auf Technik aus Europa angewiesen, wenn es um Höchstleistungschips geht. Diese stecken unter anderem in Smartphones und sind für autonom fahrende Autos unersetzlich. Es sind hochintegrierte Chips, deren Strukturen mit extrem ultraviolettem Licht (EUV nach dem englischen Begriff Extrem Ultra Violet) gezeichnet werden. So passen auf eine kaum fingerkuppengroße Fläche mehr als 15 Milliarden Transistoren.

Technologische Souveränität

Für die neue EUV-Technik, die ASML, Hersteller von EUV-Lithografie-Maschinen im niederländischen Veldhoven nahe Eindhoven, als weltweit einziges Unternehmen nutzen darf, haben die Entwickler Peter Kürz (Zeiss), Michael Kösters, (Trumpf) und Sergiy Yulin (Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik in Jena) jetzt den mit 250.000 Euro dotierten Deutschen Zukunftspreis erhalten, den Bundespräsident Walter Steinmeier überreichte. „Dieser Erfolg zeigt, dass Deutschland und Europa gemeinsam technologische Souveränität erreichen können“, sagte Bundesforschungsministerin Anja Karliczek (CDU).

Die drei Unternehmen haben über einen Zeitraum von 25 Jahren mehr als eine Milliarde Euro in die Entwicklung gesteckt. Beim Optikspezialisten Zeiss und dem Laserhersteller Trumpf entstanden in diesem Zusammenhang 3300 Hochtechnologie-Arbeitsplätze.

Geheimnisvolle neue Werkstoffe

Die EUV-Maschinen sind so groß wie Reisebusse. Die Herzstücke sind Hochleistungslaser von Trumpf und das optische System von Zeiss. Eingesetzt wird Licht mit einer Wellenlänge von 13,5 Nanometern. Damit lassen sich Chipstrukturen mit einer Breite von weniger als 20 Nanometern erzeugen. Größte Herausforderung war die Tatsache, dass dieses Licht von allen bekannten Materialien und selbst von Luft stark absorbiert wird, sodass auf dem Chip nichts mehr oder zu wenig ankommt. Aus diesem Grund musste Zeiss ein völlig neues optisches System mit Werkstoffen entwickeln, die EUV nicht stoppen. Wie es aussieht und aus welchen Materialien es besteht ist ein wohlgehütetes Geheimnis.

Moderne Spitzen-Smartphones haben bereits heute eine Rechenleistung, die eine Million Mal größer ist als die der Computer, die 1969 die erste Mondlandung begleiteten. Mit der neuen Technik wird sich der Abstand noch vergrößern.

via Zeiss